P Penelitian ini bertujuan untuk menganalisis pengaruh literasi digital, dukungan digital, dan religiusitas terhadap minat berwakaf tunai melalui cash waqf linked deposit (cwld), dengan kepercayaan sebagai variabel mediasi. cwld merupakan inovasi wakaf uang berbasis deposito syariah yang memungkinkan dana pokok tetap terjaga, sementara imbal hasilnya disalurkan untuk program sosial melalui nazhir. penelitian ini menggunakan pendekatan kuantitatif dengan data primer yang diperoleh melalui penyebaran kuesioner kepada 258 responden. teknik analisis data menggunakan structural equation modeling berbasis covariance (cb-sem) dengan bantuan program amos. hasil penelitian menunjukkan bahwa literasi digital tidak berpengaruh signifikan terhadap kepercayaan maupun minat berwakaf tunai melalui cwld. dukungan digital berpengaruh positif dan signifikan terhadap kepercayaan serta minat berwakaf tunai melalui cwld. religiusitas berpengaruh positif dan signifikan terhadap kepercayaan, tetapi tidak berpengaruh langsung secara signifikan terhadap minat berwakaf tunai. kepercayaan terbukti berpengaruh positif dan signifikan terhadap minat berwakaf tunai melalui cwld. hasil uji mediasi menunjukkan bahwa kepercayaan tidak memediasi pengaruh literasi digital terhadap minat berwakaf tunai, tetapi memediasi secara parsial pengaruh dukungan digital terhadap minat berwakaf tunai dan memediasi secara penuh pengaruh religiusitas terhadap minat berwakaf tunai. temuan ini menunjukkan bahwa minat masyarakat terhadap cwld lebih kuat dipengaruhi oleh kualitas dukungan digital dan kepercayaan terhadap lembaga pengelola. oleh karena itu, pengembangan cwld perlu diarahkan pada peningkatan kualitas sistem digital, transparansi pengelolaan, keamanan transaksi, serta edukasi produk wakaf tunai yang lebih spesifik.